生産体制

FACILITY

先端技術を支える設備

製品事例

半導体・FPD製造装置の心臓部に使用される真空パーツを製造しています。

主要工程

  • エッチング
  • CVD
  • コータ/デベロッパ
  • スパッタ
  • 枚葉洗浄
  • アッシング
  • ウエハーボンディング
  • イオン注入
  • アニール

主要製品

  • 真空チャンバー
  • シャワーヘッド
  • 排気板
  • 静電チャック
  • ヒーター類
  • 上部電極
  • ターゲット
  • 搬送系パーツ類
  • 各種真空パーツ類

生産拠点紹介

出水事業所 72,330㎡
生産品目:半導体製造装置部品
高尾野事業所 17,113㎡
生産品目:半導体製造装置部品、
     FPD製造装置部品、その他分野部品
関東事業所 1,413㎡
生産品目:半導体製造装置部品

主要設備

自動生産ライン

自動倉庫、ロボットと旋盤およびマシニングセンタ等の工作機械を組み合わせた自動化ラインです。休日稼働も可能とする24H無人生産ラインを目指しております。主に、リピート需要のある半導体分野の真空パーツの生産に使用されます。

電子ビーム溶接機(EBW)

アルミやステンレスを始め各種の金属に対し、真空中で磁力によって加速した電子ビームを照射することによって溶接を行う設備です。高精度かつ再現性が高いことが特徴です。半導体製造装置などで冷却路があるような真空パーツ生産に使用されています。半導体向けでは直径700㎜程度の製品まで加工可能です。また、別途3mを超えるような大型製品へのEBW(電子ビーム溶接)加工も相談を受けられます。

門型五面加工機

テーブルサイズが3.5m×6mある5面加工機です。製品を動かすことなく、さまざまな方向から加工を行う事ができます。主にFPD分野の真空チャンバーの生産に使用されます。当社はこれ以外にも13台の門型および門型五面加工機と3台のガンドリルを使用しFPD製造装置部品の生産を行っております。

複合加工機

丸い部品を削る旋盤加工と、あらゆる方向から同時5軸制御によるミーリング加工(回転工具による切削)の工程集約を行える複合加工機です。一回の製品取り付けで、複雑かつ高精度な加工を高能率に実現できます。主に半導体分野の真空パーツの生産に使用されます。この設備以外にも10台の同時5軸加工機を含む100台以上の大小工作機械で多様な製品生産を行っております。