生産体制
FACILITY
先端技術を支える設備
製品事例
半導体・FPD製造装置の心臓部に使用される真空パーツを製造しています。
主要工程
![](img/equipment/01.jpg)
- エッチング
- CVD
- コータ/デベロッパ
- スパッタ
- 枚葉洗浄
- アッシング
- ウエハーボンディング
- イオン注入
- アニール
主要製品
![](img/equipment/02.jpg)
- 真空チャンバー
- シャワーヘッド
- 排気板
- 静電チャック
- ヒーター類
- 上部電極
- ターゲット
- 搬送系パーツ類
- 各種真空パーツ類
生産拠点紹介
![](img/com_1/01.png)
生産品目:半導体製造装置部品
![](img/com_1/02.png)
生産品目:半導体製造装置部品、
FPD製造装置部品、その他分野部品
![](img/com_1/03.png)
生産品目:半導体製造装置部品
主要設備
自動生産ライン
![](img/equipment/03.jpg)
電子ビーム溶接機(EBW)
![](img/equipment/04.jpg)
門型五面加工機
![](img/equipment/05.jpg)
複合加工機
![](img/equipment/06.jpg)